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關于萬級凈化工程的靜電

日期:2025-10-14 00:21
瀏覽次數:387
摘要:
  
萬級凈化工程是指控制產品 (如硅芯片等) 所接觸大氣的潔凈度及溫濕度,使產品能在一個良好的環境空間中生產、制造。此環境空間的設計施工過程即可稱為凈化工程。
1.靜電電引起的靜電電擊,引起人的不**和恐懼感,并可造成二次傷害(例如人因受電擊而摔倒,由摔倒又致傷);
2.靜電放電引起的放電電流,可導致諸如半導體元件等破壞和誤動作,例如將50塊P- MOS電路放在塑料袋內,搖晃數次后,與非門柵極嚴重擊穿者計39塊,失效率競達78%,這是因為半導體器件對靜電放電十分靈敏;
3.靜電放電產生的電磁波可導致電子儀器和裝置的雜音和誤動作;
4.靜電放電的發光可導致照相肢片等感光破壞;
5.靜電的力學現象可導致篩孔被粉塵堵塞,紡紗線紛亂,印刷品深淺不均和制品污染;
靜電事故的產生主要在于靜電的產生和積累,而氣流的流動,氣流和管道、風口、過濾器等摩擦,人體和衣服的摩擦,衣服之間的摩擦,工藝上的研磨,噴涂、射流、洗滌、攪拌、粘合和剝離等操作,所有選些都可能產生靜電,在一般情況下,越是電導率小的非導體(絕緣體),由于電荷產生后不易流動,因此表現為越容易帶電。
靜電問題所以在潔凈室中特別嚴重,是因為不但在潔凈室中具備前述產生靜電的多種工藝因素,而且因為潔凈室中的許多材料如塑料地面、墻面,尼龍、的確良等工作服都有很高的電阻率,都極易產生靜電和集聚靜電,在潔凈室的靜電災害未被重視以前,這些材料料是被廣泛采用的。




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